共焦法布里-珀罗干涉仪(Confocal Fabry-Perot Interferometer, CFPI)是用光学方法探测固体表面超声振动的解调器件,它的灵敏度和稳定性决定了整个系统的灵敏度和稳定性.通过使用干涉仪的共轭输出光,使系统探测超声振动的灵敏度可提高至少2倍;同时详细给出通过干涉环来粗调干涉仪的共焦点,并提出使用单片机(MCS-51)反馈控制系统来稳定最佳工作点的方法.利用该系统实现了对铝样品表面压电超声振动的检测,得到了较好的实验结果

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