传感器是能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置， 通常由敏感元件和转换元件组成．其中，敏感元件是指传感器中能直接感受或响应被测量 的部分；转换元件是指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量转换成适于传输或测量 的电信号部分．传感器是获取信息的重要手段．

压强低于一个标准大气压的稀薄气体空间称为真空．在真空状态下，由于气体稀薄， 分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减少，分子在一定时间内碰撞于固体表面上的 次数亦相对减少，这导致其有一系列新的物化特性，诸如热传导与对流小，氧化作用少， 气体污染小，汽化点低，高真空的绝缘性能好等等．真空技术是基本实验技术之一，真空 技术在近代尖端科学技术，如表面科学、薄膜技术、空间科学、高能粒子加速器、微电子 学、材料科学等工作中都占有关键的地位，在工业生产中也有日益广泛的应用． 薄膜技术在现代科学技术和工业生产中有着广泛的应用．

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