一、概述 高水平的工艺良品率是生产性能可靠的芯 片并获得收益的关键所在。本章将简单介绍影 响良品率的主要工艺及材料要素,并对良品率 测量点做出阐述。 维持及提高良品率对半导体工业至关重要 ,因为半导体制造工艺的复杂性,以及生产一 个完整封装器件所需要经历的庞大工艺制程, 是导致这种对良品率超乎寻常关注的基本原因 。这两方面的原因使得通常只有20%至80%的芯 片能够完成生产线全过程,成为成品出货

一、概述 表面SiO2的简单实现,是硅材料被广泛应用的一个重要因素。本章中,将介绍SiO2的 生长工艺及用途、氧化反应的不同方法,其中 包括快速热氧化工艺。另外,还简单介绍本工 艺中最重要的部分--反应炉,因为它是氧化 、扩散、热处理及化学气相淀积反应的基本设 备

同济大学《机械设计》电子教材：第五章 机械零件常用材料

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§12-1 概述 §12-2 径向滑动轴承的主要结构型式 §12-3 滑动轴承的失效形式及常用材料 §12-4 轴瓦结构 §12-5 滑动轴承润滑剂的选用 §12-6 不完全液体润滑滑动轴承设计计算 §12-7 液体动力润滑径向滑动轴承设计计算 §12-8 其它形式滑动轴承简介

§5-1 螺纹 §5-2 螺纹联接的类型和标准联接件 §5-3 螺纹联接的预紧 §5-4 螺纹联接的防松 §5-5 螺纹联接的强度计算 §5-6 螺栓组联接的设计 §5-7 螺纹联接的材料和许用应力 §5-8 提高螺纹联接强度的措施 §5-9螺旋传动

•§9-1 链传动的特点和应用 •§9-2 传动链的结构特点 •§9-3 滚子链链轮的结构和材料 •§9-4 链传动的工作情况分析 •§9-5 滚子链传动的设计计算 •§9-6 链传动的布置、张紧和润滑与防护

§1机器工业在现代化建设中的作用 §2机器的基本组成要素 §3课程的内容、性质和任务 §2-1 机器的基本组成 §2-2 设计机器的一般程序 §2-3 对机器的主要要求 §2-4 机械零件的主要失效形式 §2-5 设计机械零件时应满足的基本要求 §2-6 机械零件的设计准则 §2-7 机械零件的设计方法 §2-8 机械零件设计的一般步骤 §2-9 机械零件的材料及其选用 §2-10 机械零件设计中的标准化 §2-11 机械现代化设计方法