在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件 性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍 洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的 清洗工艺等 5.2污染类型 微粒金属离子化学物质细菌 ·微粒器件对污染物的敏感度取决于特征图形的 尺寸和晶体表面沉积层的厚度。由于特征图形尺 寸越来越小,膜层厚度越来越薄,所允许存在的 微粒尺寸也必须控制在更小的尺度上

1 土壤中污染物的来源与危害 2 土壤中污染物的生物降解与转化 3 污染土壤修复的现场调查与评价 4 污染土壤修复的可处理性研究 5 污染土壤典型修复技术及原理 6 石油污染土壤修复专题

1.1清洁生产的由来 一、传统污染末端控制的弊端 发达国家在60年代和70年代初,由于经济快速 发展,忽视对工业污染的防治,致使环境污染问题 日益严重。环境问题(十大环境问题:全球变暖、 大气污染、水体污染、酸雨、海洋污染、臭氧层破 坏、生物物种减少、森林锐减、土地荒漠化和固体 废物污染)逐渐引起各国政府的极大关注,并采取 了相应的环保措施和对策

6.水环境质量评价和影响预测 6.1水体与水体污染 6.1.1水件和水染 6.1.2水体污染物及污染源 6.1.3水体污染类型 6.2河流水质模型 6.2.1河流水质模型简介 6.2.2河流的混合稀释模型 6.2.3守恒污染物在均匀流场中的扩散模型 6.2.4非守恒污染物在均匀河流中的水质模型 6.2.5 Streeter-Phelps-(s-P)模型 6.2.6河流水质模型中参数估值 6.3湖泊水库模型与评价 6.3.1湖泊环境概述 6.3.2湖泊环境质量现状评价 6.3.3湖泊环境预测模式 6.4地面水环境影响评价 6.4.1评价目的、分级及程序 6.4.2环境影响评价大纲 6.4.3项目分析和污染源调查 6.4.4地区水环境调查 6.4.5水环境影响预测及评价 6.4.6清洁生产和水污染防治

一、课程在培养计划中的作用 《大气污染控制工程》是高等院校环境工程专业 的主干学科,本科生专业必修课之一。本课程系 统地讨论大气污染控制工程的基本知识,大气污 染气象学基础知识,大气污染防治技术的基本理 论、基本概念、基本原理、主要设备和典型工艺 等。培养学生分析和解决大气污染控制工程问题 的基本能力,结合课程实验和毕业设计等教学环节, 为学生毕业后从事大气污染控制工程设计,技术管 理等工作奠定必要的基础

• 污染物在生物化学和分子水平上的影响 • 污染物在细胞和器官水平上的影响 • 污染物在个体水平上的影响 • 污染物在种群和群落水平上的影响 • 化学污染物对生物的联合作用

我国土壤镉污染现状 我国有关农田Cd污染的调查工作是20世纪70年代中、后期开始的,但至今未见Cd污染总体状况的资料报道。何电源等(1991)在19871990年间对湖南省的农田污染状况进行了调查。结果发现, 农田Cd污染主要来源于工矿企业排放的废气和废水,在各类Cd污染农田中5%~10%的面积减产严重。90年代初,我国污灌农田已扩大到1.4×106公顷

洁净室的工作原理及其应用 洁净室控制微粒污染的主要途径: 1.控制污染源,减少污染发生量; 2.迅速有效地排除室内已经发生的污染; 3有效地阻止室外的污染侵入。 (或有效地防止室内污染逸至室外)

第七章污染的生态防治 第一节环境污染的概念及其防治措施 第二节水体污染与废水处理的生物对策 第三节大气污染及其防治 第四节土壤的污染与防治

7.1 土壤污染与污染土壤修复技术概述 7.2 污染土壤的物理修复技术 7.3 污染土壤的化学修复技术 7.4 污染土壤的生物修复技术