和性能，纳米微粒尺寸的表征，纳米粉体材料的制备方法简介，纳米固体材料结构与性能，纳米块体材料的制备等

1.纳米科技基本概念2.纳米粒子的物理化学性质 3.纳米粒子的生物效应 4.纳米粒子的安全性 5.纳米材料的安全性设计

《纳米材料基础与应用》课程教学课件（PPT讲稿）第一章 纳米科技及纳米材料绪论（山东理工大学：孙武珠）

一、薄膜材料 二、薄膜材料的应用 三、薄膜技术所研究的内容 四、薄膜材料与纳米技术

一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术