化学气相沉积过程的热力学 CVD过程的一般形式为 其自由能的变化为 其中a、b、c是反应物和反应产物的摩尔数。由此 a为物质的活度,它相当于其有效的浓度。化学气相沉积过程的热力学 其自由能的变化为 CVD过程的一般形式为： aA+bB=cC ai为物质的活度，它相当于其有效的浓度。 G = cGC −aGA −bGB 其中a、b、c是反应物和反应产物的摩尔数。由此 G G RT a a a c a b = +  ln C A B