化学气相沉积过程的热力学 CVD过程热力学分析 ■一方面,它使我们可预测某个CVD过程是否可 能发生 ■另一方面,热力学分析具有局限性,它不能确 保相应的过程一定要发生 ■即使存在局限性,热力学分析对于选择、确定 个实际的CVD过程仍具有很大的意义化学气相沉积过程的热力学 CVD过程热力学分析 ◼ 一方面，它使我们可预测某个CVD过程是否可 能发生 ◼ 另一方面，热力学分析具有局限性，它不能确 保相应的过程一定要发生 ◼ 即使存在局限性，热力学分析对于选择、确定 一个实际的CVD过程仍具有很大的意义