Vol.19 No.I 张济山等：雾化喷射沉积成形过程中沉积体内的凝固过程（① ·25· v=dS/dt=2aφ/(L+Ss) (14) 23虚拟凝固层厚度L。 在基板与沉积体界面处的热平衡为： hT,-T)=k(0T,/0x):=b 其中，由式(16)给出，在凝固开始时，x=S。=L。,t=,所以有： T=T,,-)=k元·六ep(-的 B 由于中，=L。/2√ao,所以， -T。.L） exp(-) 得到虚拟凝固层厚度表达式： 2k中1 V元hexp(中，)exp(φ) (15) 2.4基板处的界面温度T, 在基板与沉积体界面处(x=O),温度可表示为： T=To+ ert( erf(φ，) L。+Ss (16) 2.5沉积表面温度T。 在上表面处，热平衡方程可表示为： 风，-0贵=k+T-刀+oT (17) 其中，万，=Hpy=8LL为由雾化锥输人的热量；dce/d=R为表面沉积速度，假设为常数； T-T L为由于表面沉积引起的热量增加. TL-TE 当1一0时，-0，可以解出T。（表面温度)的值. dx =hT。-T)有： hT hT T。= &+-1+8-)+7+脸红-型 1 h T-Te+RoL 1+ RpL Iy-T生，则： 式中，8=T-1张济 山等 雾化喷射沉积成形过程 中沉积体 内的凝 固过程 ‘ 沪子 。 虚拟凝 固层厚 度 气 在 基板 与沉积 体界 面处 的热平衡 为 界一 一 己兀 。 二， 。 其 中 ， 界由式 给 出 ， 在凝 固开始 时 ， ’ 二 二 乌 ， ， 所 以 有 不一 几 ” 爪一 ， 一 无才 卜声言 一 帅 由于沪 一 。 扣瓦 ， 所 以 ， 。 、 ’ 必 兀 一 兀 了 、 一 ’ 不而 一 气玩 一 百 ， ” 爪 一 ，一 “ 蔚六苗 ’ 火获 气一 中 ， 得到虚拟 凝 固层厚度 表达式 沪 ， 一 石再雨孤不蔽而 基板处 的界面温度 在基板 与沉积 体界 面处 ， 温 度 可 表示 为 界二 十 兀 一 叭 。 、 二二一 二 一一卜 中 。 百 沉积表面温度 几 在上 表 面处 ， 热 平衡 方程 可 表示 为 。 瓦 一 川 条 一 、 哥 。 一 卜 ‘ 其 中 ， 瓦 。 一 ， 从 为 由雾 化锥 输人 的热量 为表 面 沉 积 速 度 ， 假 设 为 常数 几 一 几 ， 二 二 二 二 、 。 二 ， ‘ 、 、 且 二 二 月 二 下二一一，不万 乙 习 田 了义 口 书飞勺 声也 廿 从艳追巨 省 日 一 、 ， 己 一 ，、 ， 、 、 “ 当 、 时 沃书弃、 ， ’ 可 以解 出 卫 〔 表 面 温 度 的值 一 “ ’ “ 刁 ’ ” ’ ‘ ” 盯 ’ 。 、 牛、 少“ 以 ‘ 由 娇 一 耕 条 一 呱 一 。 ， 兀 气爪 一 不， 一一一石万 十 石 常 一 二 勺口 石 — 国 二二 二丁 十 气万 代 一 仰 一 几 彻 式 中 ， 从 ， 一 几 几 一 几