第三章VLSI集成物理 先修课程： 量子力学与统计物理 固体物理 半导体物理、 微电子工艺、 微电子器件、 集成电路原理先修课程： 量子力学与统计物理 固体物理 半导体物理、 微电子工艺、 微电子器件、 集成电路原理