Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation DRAM单元结构发展 存储结点 衬底极板 电容极板 加埋置电容 晶体管在 字线 衬底极板 BEST 电容上方(TOC 沟槽电容(TRC) 隔离的沟槽电容 3D品体管 平面电容 叠置的沟槽电容 "巴 叠置电容(STC 羽翼形电容 王冠形电容 高K介质BST11 DRAM单元结构发展 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only