芯片中的金属层 METAL 4 METAL 2 M ETAL 3 METAL 2 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda Photo ll l 电信学院微电子教研室电信学院微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 芯片中的金属层 Photo 11.1