2.2真空蒸镀 2.2.1金属蒸发热力学 压 临界点 力 MP 固相区 液相区 相点 latm 气相区 温度K2.2真空蒸镀 2.2.1金属蒸发热力学 固相区 液相区 气相区 临界点 三相点 温度K 压 力 1atm MPa