三种PVD方法对比 项目 真空蒸镀阴极溅射、离子镀 粒子能量 0.1-1ev|1-10ev 数百一数千ev 沉积速度 0.1-75 0.01-0.50.1-50 u m/mim 附着性 般 相当好非常好 绕射性 不好 好 好三种PVD方法对比 项目 真空蒸镀 阴极溅射 离子镀 粒子能量 0.1-1ev 1-10ev 数百-数千ev 沉积速度 μm/mim 0.1-75 0.01-0.5 0.1-50 附着性 一般 相当好 非常好 绕射性 不好 好 好