第2期 罗庆洪等：M50NL钢磨削表面完整性特征及变质层厚度表征方法 205· 征，误差相对较小；三是因为硬度和残余应力的影电子显微镜，采用选区电子衍射的方法可以较直观 响因素较多且不完全一致，磨削过程对材料表面组 地反映磨削表面变质层厚度，且重复性较高，实验 织的影响是一个复杂的过程，通过显微硬度和残余 的局限性较小，不失为一种检侧磨削变质层厚度的 应力的变化可以间接反映变质层组织结构的变化， 理想方法. 但不能精确表征变质层组织结构的变化.通过透射 20m 5m- 50n四 5 nm- (e) (0 100nm nm- (g) (h) 200nm 5n- 图7M50NiL钢磨削表面不同深度处明场像和选区电子行射.(a),(b)距表面140nm处：(c,(@)距表面220nm处；(e),(f)距 表面300nm处；(g),(h)距表面600nm处 Fig.7 TEM bright field images and SAED patterns of M50NiL steel grinding surfaces at different depths:(a),(b)at 140 nm from the surface;(c),(d)at 220 nm from the surface;(e).(f)at 300 nm from the surface;(g),(h)at 600 nm from the surface