0.97、1.36的试样断面抛光，用Murakami溶液浸蚀后，扫描电镜观察，能谱测Ti,Co, W含量，波谱分析C的相对含量、见表1。 表1能谱和波谱分析 Table 1 Energy and wave spectrometer analysis 能 谱分 析 波谱 分 析 ，碳 Co Ti 数 平均数目 wt wt% wt% Count's Count/s 体 91.48 8.52 0 564 925 975 949 过渡县 76.26 18.93 4.81 183918801968 1896 途 左 0.01 0.11 99.88 586757255819 5804 由表1数据可知，C含量从基体-过渡区-涂层是升高的，说明生成TC层过程没有发生 基体脱碳而在界面层形成缺碳的刀相。3个试样的X衍射未出现)相。m。,T:=1.59时，出 现游离C。 2,3C,H,CH3浓度对沉积TiCxNy涂层的影响 TN和TC都是面心立方结构。TN的沉积反应TC,+2H+名N= TN()+4HCI(g,的最低反应温度为903K,TiC的最低反应温度1179K。TiN的形核温度 比TiC的低得多。只要在生成TiC的体系中输人N2,就能生成TiCxNx。不难推测，在先 形成的TN面心立方晶格巾，C作为间隙原子溶人晶格，形成互为固溶体。由于C原子半径 1 大于N原子半径.这样必然起面心立方晶格的骑变，使硬度介于TC-TN之间。 2.4C,H,CH3浓度对TiCxNy沉积速度的影响 在恒定温度1248K,总气体流速1200ml/min,N2/H2=1/2,CTC14=0.70vol%条 件下，改变C,HCH的浓度（即mcT:)，测得沉积速度对me:ri关系与TiC的速度对 mc:r1关系相似，只是最高点的位置在mcr:=0,86处（图4）。其原因也是由于产物HC1 的影响。 2.5C。HsCH3浓度对TiCxN组成和硬度的影响 测定涂层硬度发现，mc.r1增加，硬度在(2.2~2.7)×104MPa之间变化，mc/r1=0.86 时出现最大值，低于或高于这个值，硬度降低。显然不同的m。·℉：得到的涂层组成是不同 的，硬度也随之变化。在TiCxNy(x+y=1)中，x可由0到1变化、在x=0.5时为TiCN 结构。由于查不到TiCN及TCxN,的ICPDS卡片，不能直接利用X衍射结果，而扫描电镜 :能谱和波谱.又因N、C原子序数小，不能定量分析N、C的绝对含量。根据Piersont) 给出的晶格常数与TiN和TC的mo1%关系，只要知道TiCxNy的晶格常数，就能查得涂层 组成。为此，先假设本实验涂层的空位浓度为零，TiC和TN是面心立方，TiCxNy固落 体仍是面心立方，只是晶格有些畸变。根据面心立方公式d=a/h+2+1,知a。就可 得d。由文献C7)查得TiC mols%=50时，晶格常数a,=4.272A,算得TCN的D值为： 261。 、 的试 样 断面抛光 ， 用 盯 溶液 浸 蚀 后 ， 扫描 电镜观 察 ， 能谱 测 ， 。 ， 含 量 ， 波 谱分 析 的相 对含 量 ， 见表 。 表 能 谱 和 波 谱 分 析 了 ， 能 谱 分 析 波 谱 分 析 ， 碳 、 犷侣夕勺 波 数 平均 数 目 墓 体 尸 过 全度 层 涂 层 。 。 。 。 由表 数 据 可知 ， 含 量 从基体 一 过 渡 区 一 涂 层是 升 高的 ， 说 明生 成 层过 程没 有发 主 基体 脱碳 而 在 界面层形 成缺碳 的 粉 相 。 个试 样 的 衍射未 出现 刀相 。 。 。 时 ， 出 现游 离 。 。 。 浓 度对 沉 积 二 涂层 的影 晌 和 都 是面 心 立 方 结 构 。 的 沉 积 反 应 ， 。 ， 专 。 ， 二 。 的最 低 反应温度 为 ， 的最 低 反应温 度 。 的形 核 温度 比 的低 得 多 。 只 要 在生 成 的体 系 中输人 ， 就能 生 成 。 不 难推测 ， 在 光 形成 的 面心 立 方 晶格 中 ， 作 为 间隙 原子溶入 晶格 ， 形 成互 为固溶体 。 由于 原子半 怪 大于 原子 一 半径 ， 这 样 必 然 引起 面心 立 方 晶格 的畸 变 ， 使 硬 度 介于 一 之 间 。 。 浓 度对 二 沉 积 速 度 的 影晌 在恒定温 度 一 ， 总 气体 流 速 ， ， 、 、 · 写 轰 件下 ， 改变 。 的浓 度 即。 。 · 二 、 ， 测 得 沉 积 速 度对 。 。 ， 关 系与 的速 度对 阴 。 、 关 系相 低 ， 只 是最 高点 爪位 置 在 。 。 、 。 肠处 图 。 其原 因也是 由于 产物 的影响 。 嘴尸 。 。 浓 度对 丁 组 成 和硬 度的 影响 测定涂 层硬 度发 现 ， 州 ， 增 加 ， 硬 度 在 一 火 入 之 ’ 变化 ， 。 。 ， 时 出现最 大 值 ， 低于 或 高于 这 个值 ， 硬 度降低 。 显 然不 同 的 。 。 得 到 的 涂 层 组 成是不 同 的 ， 硬 度也随 之 变化 。 在 八 二 中 ， 可 由 。 到 变化 ， 在 二 时 为 可 结 构 。 由于 查不 到 及 的 卡片 ， 不能 直接 利用 衍射结 果 ， 而 扫描 电 镬 傲能 谱和波 谱 又 因 、 原子 序 数 小 ， 不能 定 量 分 析 、 的绝对 含 量 。 根 据 〔 下 〕 给 出 的晶格 常数 与 和 的 关 系 ， 只 要知 道 的晶格 常数 ， 就能 查得涂 层 邝组 成 。 为此 ， 先假设 本实验涂 层 的空位 浓 度为零 ， 和 是 面心 立方 ， ， 固 溶 体仍是面心 立 方 ， 只 是 晶格 有 些 畸 变 。 根 据面心 立方 公 式 二 。 了 “ 左“ 十 “ ， 知 。 。 就 可 得 。 山文 献 口 〕查得 二 时 ， 晶格常数 。 人 ， 算得 的 值 为