D2.4662.1361.5101.2881.2331.0680.9500.955 hk1111200 220 311 222 400 331 420 7.0 mc1r1=0.68,1,51时，样品X衍射D值 与计算的D值相符，说明上述假设是正确的。 6.0 涂层组成的计算：根据X衍射的Bragg公 式。对mc1r,=0,68的样品，衍射结果D,日 已知，1cu=1,542A,a=4.252A,由文献〔7)查 5.0 得×=0.26，所以涂层组成为TiC02。N。,74。 同法得mcT,=1.51样品的组成为TiC0。 1.0 Ng31。 mc1T1=0.28时，X衍射结果巾D=2.45, 3.0 2.13是TiCN峰，D=1.884,2.84,2.518是 0.20.5 1.0 1.5 WC峰，说明涂层薄，出现基体WC的衍射峰。 mC.T: 图4 TiCxNy沉积速度R与反应物摩尔比 其余锋值符合CogW3C(112F)的标准卡片， mc1T1的关系，总流量为1200m1/min,N2/ 说明在此条件下沉积确实有)相生成。 H2=1/2,CT1c14=0,40vol% Fig.4 The relation between molar ratio and deposition rate of TiCxNy 3结 论 (1)TiCl,-C,H,CH。-Hz体系，在1223一1323K,总气体流速1000ml/min,CTiC14 =0.85vol%,CC,H,CH3=0.80vol%条件下沉积TiC涂层，过程处于化学反应限制生长区 域，表现活化能为157.9kJ/mol。 (2)在化学反应限制区内，在1273K,气体流量1000ml/min条件下，TiC沉积速度、 涂层硬度与反应物摩尔比mcT:关系，随mcT:增加到最大值后又下降，在mcT1=1时 出现最大值，在mc/ri=0.49~1,47范围不出现n相。 (3)TiCl,-C,HCH3-H2-N2体系，在1248K,1200ml/min总气体流量的条件下， TiCxNy的沉积速度与反应物摩尔比mc:r,关系与TC的结果类似，只是mc/r:=0.87处 呈最大值。mcr:0,28时，有n相产生。 (4)假设TiC、Ny也是面心立方结构，且空位浓度为零，就可利用X衍射结果和Pierson 的数据计算TiCxN,的组成。 (5)YGg上沉积TC,TiCN涂层的最佳温度和mc'r:为： Tic 1323K mc:tI=1 TiCN I 218K mcT1=0.85 参考。文献 1 Lindstrom J N,Amberg S,4th Int,Conf,on CVD,1973;115 2 Hinfermann II E,Gass H,4th Int,Conf,on CVD,1973;107 262。 。 。 。 。 ‘ 工丫，三七。日任勺加已 ﹄ 二 。 ， ‘ 。 ， 一 。 时 ， 样品 衍射 值 与计算的 刀 值相符 ， 说 明上 述假 设是 正确的 。 涂层组 成的计算 根 据 衍射的 公 式 。 对 。 。 ， 。 的样品 ， 衍射 结 果 ， 日 已知 ， 几。 。 入 ， 。 入 ， 由文献 〔 〕查 得 二 ， 所以 涂 层组 成 为 。 。 。 ， 。 同 法 得 。 样品 的组 成为 。 。 。 。 。 一 。 。 。 ‘ 。 时 ， 衍射结 果 中 」 ， 是 峰 ， 二 ， ， 。 是 峰 ， 说 明涂 层 薄 ， 出现 基体 的衍射峰 。 其余峰值符合 认 ， 的标准 卡片 ， 说 明 在此条 件下 沉积确实 有 刀 相 生 成 。 · 厂一 又 一尤 讯 丁召 图 沉 积速度双与 反 应 物 康尔 比 的关系 ， 总 流 为 ， ， 一 二 纬 丁 结 论 一 。 一 体 系 ， 在 一 ， 总 气体 流速 ， 一 。 ， 。 。 。 条件 下沉积 涂 层 ， 过 程 处于 化 学 反应限制 生长 区 域 ， 表现活化能 为 。 。 在化学 反应限 制 区 内 ， 在 ， 气体流 量 。 。 。 条件下 ， 沉 积速度 、 涂 层 硬度与 反应物摩 尔比 。 。 关 系 ， 随 。 。 ‘ 增加到最 大值 后 又 下降 ， 在 。 。 时 出现最 大值 ， 在 。 。 ‘ 。 一 范 围不 出现 ，相 。 一 。 一 一 体系 ， 在 ， 总 气体 流 量 的 条件 下 ， 的沉 积 速 度 与反应物摩 尔 比 ， ， 关 系与 的结果 类 似 ， 只 是 ， 。 ， 二 。 处 呈最 大值 。 二 一 时 ， 有 冲相 产生 。 假 设 也是 菌心 立方结 构 ， 目空位浓 度 为零 ， 就 可 利 用 衍射结果 和 的数 据计算 。 · 的组 成 。 ， 沉 积 、 ， 涂层 的最 佳温 度 和 。 为 ，卜 入 又 又 ，” ， 今 考 文 献 一 。 ， ， ， 王