表3 不同样品在氟化物熔盐中腐蚀结果 涂层条件 腐蚀 条件 腐蚀速率 方式基体材料 温度（°C) 时间 H2/C12 熔盐介质 温度(C) 时间 (分) (小时)克/原米2小时 GH128 (KF+NaF) 900 30 75/15 涂 K2TaF7=1:1 900 8 3.742X10-4 1000 900 8 4.279×10-4 钮 1050 900 5.002×10-4 的 1100 900 8 6.723×10-4 GH128 900 8 3.037×104 的 纯钽 900 1.096×10-2 由图8一10、表3的结果可以概括为以下几点： (1)随沉积温度的不同，涂层产物耐蚀性能也不同。沉积温度增，耐蚀性能下降， 最后达到纯钽的腐蚀速率。 (2)镍基合金在熔融的氟化物混合盐里的耐蚀性比涂层钽及纯钽高，这是由于N.Cr 耐熔融的氟盐腐蚀的原因。 (3)在熔融的氟化物盐里，涂层细比纯钽耐蚀性更好，但随着涂衔层厚度的增加，纯 钽和CVD钽的腐蚀性能接近。说明涂们层在氟化物熔盐里完全可以保护基体元素，不致于进 人熔体，而沾污金属产物。 (4)1腐蚀后样品形貌看到，镍基合金是选择性腐蚀，而涂层钽却是均)腐女。 (5)不阔积温度下的钽涂层物耐蚀性能不同，其中以1050°C沉积的钽为较好，而 900°C时沉积的袒涂层为最差，这是由于致密性不同的原因。 镍基合金所以能抗熔融氟化物盐的腐蚀，可能由于这些盐在脱水和熔化过程中，像基：合 金里的元素生成了相应的氧化物[4]，这样增强了其耐蚀性 随看沉积温度的增高，基体上沉积的钽涂层愈来愈厚，由于钥不耐氟盐的侵蚀，所以其 涂层在熔硒拟化物中的腐蚀速率愈来愈大，最后可达到纯钽的腐蚀速率。在我实验里，织 涂层的腐蚀送名低于纯钽，这是由于涂层钽和基体里扩散出来的Ni、Cr元素形成了金属间化 合物。这些化合物抗氟盐腐蚀性能较好，所以涂层钽的耐蚀性能比纯钮高。 由图9见，在1050°C沉积钽较致密，所以在熔融的氟化物中腐蚀较均匀，而未出现孔 洞。但在：另儿个温度沉积的试样里，相对的致密性较差，所以在腐蚀后的形猊图上出现一些 孔洞。 结 论 (1)在CVD钽涂层和基体间形成了一过度层，它使涂层物和基体间的粘附性提商，耐 蚀性增强， 67表 不 同样 品 在氟化物熔盐 中腐蚀结果 方式 基体材料 涂 一 全丑 ‘ 的 ‘ 蕊称 一 日 一 添劣石棘 克 悠 举一 …严甲 一 一 一 城…班 － 一 一 一 又 一 一 · ︷ 一 一 一 纯 钮 又 一 义 一 涂的未 闷‘ 汪 一 ‘ 目曰 ， ， 州曰 口目目 口 一 一 目困 ‘ 一一 ‘ 侧 由图 一 、 表 的结 果可 以概括 为以下 几点 随沉 积温 度的 不 同 ， 涂 层 产物 耐蚀性能 也 不 同 。 沉 积 温 度增 加 ， 耐 蚀性 能 下 降 ， 最 后达 到纯钮 的腐蚀速率 。 镍 基 合金 在熔融 的氟 化物 混 合盐 里 的耐 蚀性比 涂 层 钮 及 纯钮 高 ， 这 是 由于 、 耐 熔 融 的氟 盐 腐蚀 的原 因 。 在熔融 的 氟化物 盐 里 ， 涂层 钮 比 纯钮 耐 蚀性 更 好 ， 但随 着涂钮 层 厚度 的增 加 ， 纯 钮 和 钮 的 腐蚀性能 接近 。 说 明涂扭 层在氟化物熔 盐 里完全可 以保护基体元素 ， 不 致于 进 人 熔体 ， 而 沽 污金 属 产物 。 由腐蚀后 样 品形 貌 看 到 ， 镍基 合 金是 选择 性 腐蚀 ， 而 涂 层钮 却 是均 匀 腐 蚀 。 的 不 同 ，沉积温 度下 的钮 涂层物耐蚀性能不 同 ， 其中以 沉 积的钮 为 最 好 ， 而 时沉 积 的担 涂层 为 最差 ， 这是 由于 致密性 不 同 的原 因 。 镍基 合金所 以能 抗熔 融 氟化物 盐 的腐蚀 ， 可 能 由于这些 盐在 脱水 和熔化 过 程 中 ， 镍基 合 金 里 的元 素 生 成 了相 应 的氧化物 〔 〕 ， 这样增强 了其耐蚀性 随 着沉 积温 度的增 高 ， 基 体上沉 积 的担 涂层愈来愈厚 ， 由于钮不 耐 氟 盐 的侵 蚀 ， 所 以其 涂层 在熔 融 氛 化物 中的腐蚀速率 愈来 愈大 ， 最 后 可达 到 纯祖 的腐蚀速 率 。 在我 们 实验 里 ， 涂层 的腐 蚀达 率 低于纯担 ， 这是 由于 涂层钮和基体里 扩散 出来的 、 元 素形 成 了金 属间化 合 物 。 这些 化 合物 伉 氟 盐 腐蚀性能较好 ， 所 以涂层担 的耐 蚀性 能 比 纯钮 高 。 由图 可 眨 ， 在 。 “ 沉 积钮较 致密 ， 所以 在熔 融 的 氟化物 中腐蚀较均 匀 ， 而 未 出现 孔 洞 。 但 在 另 儿 个温 度沉 积 的试样里 ， 相对 的致 密性较 差 ， 所 以 在腐 蚀后 的形貌 图上 出 现一些 孔 洞 。 结 论 在 祖 涂层 和基 体 间形 成 了一过度层 ， 它使 涂层物 和墓 体 间 的 粘 附性 提 高 ， 耐 蚀性 增 强