(2)在1050°C沉积的钽涂层较致密，所以能阻止基体被氟化物熔体的侵蚀，从丽保护 了此容器内的反应产物，不受侵蚀下来的合金元素的污染。 (3)用化学汽相沉积的方法可以制得高纯的、致密的、粘附性能好的和抗腐蚀的粗涂 尽。 参考文献 1 W.R.Holman,F.J.Huegel.J.Vac.Sci.Technol.11.(1974).701. :2)Yu.M.Korolev et Vostanovlenie ftoridov tugoplavkikn metallov vogorogom“Melamurgiya”,Moskiva(1981) 3:张长鑫本誌4(1983).106 (4;F.L-La que,.H·R·Copson·Corrosion Resislance Of Metals and Alloys.Second edition,Ame.chem.Soe.Monogragh Series p519 Study of Resistance to Corrosion of Tantalum in mol- ten Salt Mixture of Fluorides Zhang Changxin,Lu Yenping At 900C in mixture of molten K2TaF7-KF-NaF system the Corrosion lests indicated that resistance to corrosion of tantalum Coating is higher than pure tantalum.It is connected with alloy element of substrate.The observation coating by metallography election microscope microprobe has been proven.in fluoribes molt- eu the corrosion resistant of coating tantalum under deposition temperature 1050C is better. 68在 沉 积的钮 涂层较致密 ， 所 以能 阻止基体被 氟化 物熔体 的侵 蚀 ， 从 而保 护 了此容 器 内的 反应产物 ， 不 受侵 蚀下来 的合金 元 素的污 染 。 用化学汽相沉 积的方法可 以制 得高 纯的 、 致密 的 、 粘附性能好的和 抗 腐蚀 的钮 涂 层 。 参 考 文 献 · · ， 二 · · 〕 · · 七 七 七 、 一 ，’ 七 ，， 、 二 张 长鑫 本忿 沪 · · ， · · · 七 入 七 。 刁 、 一 ， 气 “ 七 一 一 七 七 七 七 七 。 七 七 七 七 七 七 乞 “ 七七 洲