以光刻技术在薄膜表面获得图形 Sio Substrare 若要在Si件表面制备如图所示的SO2图形,就需 要求助于光刻技术以光刻技术在薄膜表面获得图形 若要在Si器件表面制备如图所示的SiO2图形，就需 要求助于光刻技术 Si