③半闭环伺服系统 位置控制单元 速度控制单元 CNC 插补 位置控制 速度控制 调节器 与驱动 机械部件 L 位置反馈 速度反馈 电动机 半闭环伺服系统的位置检测装置一般安装在电动 机的轴上，或滚珠丝杠轴端，通过测量角位移间 接地测量出移动部件的直线位移，然后反馈到数 控系统中，与系统中的位置指令值进行比较，用 比较后的差值控制移动部件移动，直到差值消除 时才停止移动。③半闭环伺服系统 半闭环伺服系统的位置检测装置一般安装在电动 机的轴上，或滚珠丝杠轴端，通过测量角位移间 接地测量出移动部件的直线位移，然后反馈到数 控系统中，与系统中的位置指令值进行比较，用 比较后的差值控制移动部件移动，直到差值消除 时才停止移动