电子能谱仪结构框图(Instrumentation) Electron energy 电子能谱仪结构框图 analyser X-ray source Sample UHV 真空系统/磁屏蔽 chamber 样品 能量分析器 Pumps hv 激发源 检测器 数据系统 中国斜学技术大学 University of Science and Technology of China 电子能谱仪结构框图 电子能谱仪结构框图(Instrumentation)