3.1、电子能谱仪的一般构造 电子能谱仪一般由超高真 空系统、激发源(X射线光 源、UV光源、电子枪)、 电子能量分析器、检测器 和数据系统，以及其它附 件等构成。 ,现以Thermo Scientific公司 生产的ESCALAB250Xi高 性能电子能谱仪为例，说 明其主要仪器结构。 中国簿学毡术大享 Iniversity of Science and Technology of China3.1、电子能谱仪的一般构造  电子能谱仪一般由超高真 空系统、激发源（X射线光 源、UV光源、电子枪）、 电子能量分析器、检测器 和数据系统，以及其它附 件等构成。  现以Thermo Scientific公司 生产的ESCALAB 250 Xi高 性能电子能谱仪为例，说 明其主要仪器结构