6 中国斜草我术大草 University of Science and Technology of China 第3章电子能谱仪构造 电子能谱仪的一般构造 2. 超高真空系统(UHV 3. 激发源 4. 电子能量分析器与检测器 5. 样品的制备和处理 6 常用附件（中和枪与离子枪） 数据系统 第3章 电子能谱仪构造 1. 电子能谱仪的一般构造 2. 超高真空系统(UHV) 3. 激发源 4. 电子能量分析器与检测器 5. 样品的制备和处理 6. 常用附件（中和枪与离子枪） 7. 数据系统