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中国科学技术大学:《X射线光电子能谱学 X-Ray Photoelectron Spectroscopy》课程教学课件(原理、方法和应用)第3章 电子能谱仪构造

1. 电子能谱仪的一般构造 2. 超高真空系统(UHV) 3. 激发源 4. 电子能量分析器与检测器 5. 样品的制备和处理 6. 常用附件(中和枪与离子枪) 7. 数据系统
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