离子镀时发生的微观效应(续) (4)界面成份混杂 高能粒子的注入、表面原子的反冲注入等,将引起 近表层发生非扩散型的元素混杂,形成“伪扩散层” (或过渡层),其厚度可达几个微米 (5)使薄膜中溶入气体 离子轰击使原来并不会溶解的气体也会进入薄膜表 层,使薄膜中溶解几个原子百分比的气体组分 (6)沉积温度提高 大部分轰击粒子的能量会转变为热能,它使薄膜受 到加热作用,其温度上升 (7)改变薄膜的应力状态 高能粒子的轰击可使表面产生压应力,从而强化薄 膜的表面层（4）界面成份混杂 高能粒子的注入、表面原子的反冲注入等，将引起 近表层发生非扩散型的元素混杂，形成 “伪扩散层” （或过渡层），其厚度可达几个微米 （5）使薄膜中溶入气体 离子轰击使原来并不会溶解的气体也会进入薄膜表 层，使薄膜中溶解几个原子百分比的气体组分 (6）沉积温度提高 大部分轰击粒子的能量会转变为热能，它使薄膜受 到加热作用，其温度上升 （7）改变薄膜的应力状态 高能粒子的轰击可使表面产生压应力，从而强化薄 膜的表面层 离子镀时发生的微观效应（续）