4.1多晶硅半导体的物理基础 4.1.1多晶硅薄膜结构与形貌 多晶硅由大量小晶粒组成，每一个晶粒可看作一块小单晶体，它们具有不同的晶 向，彼此由晶界连接。晶界是晶粒间的过度区，结构复杂，原子呈无序排列，其 厚度通常为几个原子层。 20eneH■e发0.0Ke00 生长方向 晶粒 yokoha SEI 10.CkV x60.000 100mm HO 7om 晶界 晶界 (a) (b)4.1 多晶硅半导体的物理基础 4.1.1多晶硅薄膜结构与形貌 多晶硅由大量小晶粒组成，每一个晶粒可看作一块小单晶体，它们具有不同的晶 向，彼此由晶界连接。晶界是晶粒间的过度区，结构复杂，原子呈无序排列，其 厚度通常为几个原子层