根据向衬底输运外延材料的原子的方法不同 ■真空外延、气相外延、液相外延 液相外延(LPE)法的原理是通过将硅熔融在母体里, 降低温度析出硅膜。 根据相变过程 ■气相外延、液相外延、固相外延、 对于硅外延,应用最广泛的是气相外延 以SiH2Cl2、 SiCL3、Sic4或SiH4为反应气体 在一定的保护气氛下反应生成硅原子并沉积在 加热的衬底上,衬底材料一般选用Si、Sio2、Si3N4等 44 根据向衬底输运外延材料的原子的方法不同 ◼ 真空外延、气相外延、液相外延 根据相变过程 ◼ 气相外延、液相外延、固相外延、 对于硅外延，应用最广泛的是气相外延 以SiH2Cl2、SiHCl3、Sicl4或SiH4 ,为反应气体, 在一定的保护气氛下反应生成硅原子并沉积在 加热的衬底上，衬底材料一般选用Si、SiO2、Si3N4等 液相外延（LPE）法的原理是通过将硅熔融在母体里， 降低温度析出硅膜