结构、性质 Si02膜的原 硅 氧 子结构如图所示 它是由一个硅原子 被4个氧样原子包 围着的四面体单元 组成的。是一种无 定型的玻璃状结构 具体地说是一种近 程有序的网状结构 图102二氧化硅的原子结构 没有长程有序的晶 (承蒙 International SEMATECH允许使用) 格周期。结构、性质 SiO2 膜 的 原 子结构如图所示。 它是由一个硅原子 被4个氧样原子包 围着的四面体单元 组成的。是一种无 定型的玻璃状结构， 具体地说是一种近 程有序的网状结构， 没有长程有序的晶 格周期