尽管硅是一种半导体,但Si02是一种绝缘 材料。是硅器件制造中得到广泛应用的一种膜 层,因为SiO既可以用来处理硅表面,又可以 作为掺杂的阻挡层、表面绝缘层及作为器件中 的绝缘部分。 7.1.1表面钝化 无论采取什么样的措施,器件受污染的影 响总是不可避免的。Si0层在防止硅器件被污 染方面起到了一个非常重要的作用。原因是 Si02密度非常高、非常硬,因此硅表面的Si02 层可以扮演一个污染阻挡层的角色。 另一方面,Si02对器件的保护是原于其化 学特性。因为在制造过程中,无论工作室多么 洁净,总有一些电特性活跃的污染物最终会尽管硅是一种半导体，但SiO2是一种绝缘 材料。是硅器件制造中得到广泛应用的一种膜 层，因为SiO2既可以用来处理硅表面，又可以 作为掺杂的阻挡层、表面绝缘层及作为器件中 的绝缘部分。 7.1.1表面钝化 无论采取什么样的措施，器件受污染的影 响总是不可避免的。SiO2层在防止硅器件被污 染方面起到了一个非常重要的作用。原因是 SiO2密度非常高、非常硬，因此硅表面的SiO2 层可以扮演一个污染阻挡层的角色。 另一方面，SiO2对器件的保护是原于其化 学特性。因为在制造过程中，无论工作室多么 洁净，总有一些电特性活跃的污染物最终会