有掩模方式 接触式 非接触式 接近式 反射 投影式 全场投影 曝光方式 折射〈 步进投影 矢量扫描 扫描步进投影 光栅扫描 无掩模方式 混合扫描 (聚焦扫描方式)有掩模方式 无掩模方式 （聚焦扫描方式） 接触式 非接触式 接近式 投影式 反射 折射 全场投影 步进投影 扫描步进投影 矢量扫描 光栅扫描 混合扫描 曝 光 方 式