3.2、超高真空系统(UHV) 超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。谱仪的光源 等激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超高真空中。对 真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤，无磁性， 无振动等。通常超高真空系统真空室由不锈钢材料制成，真空度优 于5×10-10mbar。现在所有商业电子能谱仪都工作在10-8~10-10 mbar的超高真空范围下。 超高真空系统一般由多级组合泵来获得。ESCALAB250电子能谱仪 的真空系统主要靠磁浮涡轮分子泵来获得，其前级由机械泵维持， 另外在分析室还可加装一离子泵和钛升华泵，这样在样品分析室中 真空度可优于1×1010mbar。钛升华泵都常作为辅助泵以便快速达 到所需要的真空度。 超高真空室和相关的抽气管道等通常用不锈钢材料来制成，相互连 接处使用具有刀口的法兰和铜垫圈来密封。样品分析室和能量分析 器更用Mu金属（高磁导率材料Ni77Fe16Cu5Cr2或Mo2)制造。 中国钟学我术大学 University of Science and Technology of China 3.2、超高真空系统(UHV)  超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。谱仪的光源 等激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超高真空中。对 真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤，无磁性， 无振动等。通常超高真空系统真空室由不锈钢材料制成，真空度优 于5×10-10 mbar。现在所有商业电子能谱仪都工作在10-8 ~ 10-10 mbar的超高真空范围下。  超高真空系统一般由多级组合泵来获得。ESCALAB 250电子能谱仪 的真空系统主要靠磁浮涡轮分子泵来获得，其前级由机械泵维持， 另外在分析室还可加装一离子泵和钛升华泵，这样在样品分析室中 真空度可优于1×10-10 mbar。 钛升华泵都常作为辅助泵以便快速达 到所需要的真空度。  超高真空室和相关的抽气管道等通常用不锈钢材料来制成，相互连 接处使用具有刀口的法兰和铜垫圈来密封。样品分析室和能量分析 器更用Mu金属（高磁导率材料Ni77Fe16Cu5Cr2或Mo2）制造