考核指标：最大空间工作范围>1800mm(直径)，狭小腔体 直径范围8~30mm,深度≤120mm,空间测量精度<30μm;复合 高精度三维扫描测头测量范图>5mm,测头转速>600RPM,测 量重复性≤1um,采样频率≥2kHz,轴向分辨率≤0.5um,侧向 分辨率≤15μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间>≥3000小时，技术就绪废不低于8级；至少应 用于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.9微探头传感器式激光干涉仪 研究内容：针对材料热线账和压电效应测试表征、结构体微 应变微振动监测分析、微纳传感器标定测试、高端装备超精密运 动特性测试检定等狭小空问下大量程、高精度位移测量需求，突 破毫米级微光学测头设计与多自由度精准装配、大幅度高带宽调 频激光的精密稳频、高速位移的深亚纳米级分辨、位移解调误差 实时修正等等关键技术，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在精密传感器计量测试、新材 料科学研究、高端装备集成校准等领减的应用， 考核指标：工作距离10-600mm;微探头尺寸≤ p6mm×14mm;激光光源的频率调制幅度≥1GHz,调制带宽≥ 5MHz,激光光源中心频率精度≤5×108：测量速度≥1.5m/s,位 移分辨力≤0.05nm,位移解调误差补偿精度<0.4nm;测量标准 -522- 首都医科大学 A00089 — 522 — 考核指标：最大空间工作范围≥1800mm（直径），狭小腔体 直径范围 8~30mm，深度≤120mm，空间测量精度≤30μm；复合 高精度三维扫描测头测量范围≥5mm，测头转速≥600RPM，测 量重复性≤1μm，采样频率≥2kHz，轴向分辨率≤0.5μm，侧向 分辨率≤15μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应 用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.9 微探头传感器式激光干涉仪 研究内容：针对材料热线胀和压电效应测试表征、结构体微 应变微振动监测分析、微纳传感器标定测试、高端装备超精密运 动特性测试检定等狭小空间下大量程、高精度位移测量需求，突 破毫米级微光学测头设计与多自由度精准装配、大幅度高带宽调 频激光的精密稳频、高速位移的深亚纳米级分辨、位移解调误差 实时修正等等关键技术，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在精密传感器计量测试、新材 料科学研究、高端装备集成校准等领域的应用。 考 核 指 标 ： 工 作 距 离 10~600mm ； 微 探 头 尺 寸 ≤ φ6mm×14mm；激光光源的频率调制幅度≥1GHz，调制带宽≥ 5MHz，激光光源中心频率精度≤5×10-8；测量速度≥1.5m/s，位 移分辨力≤0.05nm，位移解调误差补偿精度≤0.4nm；测量标准