·688 工程科学学报，第43卷，第5期 (a) N2-0 (b) N-1 25 30 wu/ 0 0.5 0.5 1. 0.5 y/nm 1.0 0.5 1.0 1.5 1.0 1.5 x/um 1.5 x/um 1.5 (c) N2-2 (d) N2-3 100 120 70 0 0.5 0.5 10 0.5 nm 0.5 1.0 1.0 .5 1.0 xμm 1.5 x/u 15 1.5 图3 FeCrVTanaWoa氯化物成分梯度多层薄膜的AFM表面形貌.(a)N2-O:(b)N2-1:(c)N2-2:(d)N2-3 Fig.3 AFM surface morphology of FeCr VTaWo4 nitride composition gradient multilayer films:(a)N2-0;(b)N2-1;(c)N2-2;(d)N2-3 (a) N,-15 (b) N,-30 (c) N,-45 25 80 60 70 70 5 0.5 0.5 0 1.0 0.5 0.5 w/nn 0.5 1.0 nm 1.0 1.0 1.0 x/um 1.5 1.5 x/um 1.5 1.5 图4不同氮气流量下(FeCrVTa4WoN,单层薄膜的AFM表面形貌.(a)N2-15:(b)N2-30:(c)N245 Fig.4 AFM surface morphology of (FeCrVTapWo)N,single-layer films at different N2 flows:(a)N2-15;(b)N2-30;(c)N2-45 (a) FCC(111) N,-0 (b) FCC(111) -N2-I5 -N2-l -N,-30 -N2-2 N2-45 -N2-3 FCC(220) FCC(220) FCC(200) FCC(311) FCC(200) FCC(311) A 1020 30 40 50 60. 10 80 90 10 20 30 40 50 60 70 80 90 2/) 28M) 因5 FeCrVTao.:Wo4氨化物薄膜的XRD衍射图.(a)FeCrVTao.4Wa.4氩化物成分梯度多层薄膜：(b)(FeCrVTao.4Wa.4)Nz单层薄膜 Fig.5 XRD diffraction patters of FeCrVTaoWo nitride films:(a)FeCrVTaoWo4 nitride composition gradient multilayer films;(b)(FeCr VTaoWo)N single-layer films 响，不能得到薄膜的真实硬度，当膜层硬度变化形 度到达100nm后趋于稳定，通过计算100~400nm 成稳定平台后，才能得到真实的硬度值，在压入深 硬度、杨氏模量的平均值，得到薄膜的硬度值、杨响，不能得到薄膜的真实硬度，当膜层硬度变化形 成稳定平台后，才能得到真实的硬度值，在压入深 度到达 100 nm 后趋于稳定，通过计算 100～400 nm 硬度、杨氏模量的平均值，得到薄膜的硬度值、杨 0 1.0 0.5 0.5 0 1.0 1.5 1.5 25 (a) N (b) 2 -0 N2 -1 (c) N (d) 2 -2 N2 -3 z/nm y/nm x/μm 0 1.0 0.5 0.5 0 1.0 1.5 1.5 100 z/nm 0 120 z/nm y/nm 0.5 0 1.0 1.5 y/nm x/μm 1.0 0.5 1.5 x/μm 0 1.0 0.5 0.5 0 1.0 1.5 1.5 30 z/nm y/nm x/μm 图 3    FeCrVTa0.4W0.4 氮化物成分梯度多层薄膜的 AFM 表面形貌. （a） N2 -0；（b）N2 -1；（c）N2 -2；（d）N2 -3 Fig.3    AFM surface morphology of FeCrVTa0.4W0.4 nitride composition gradient multilayer films: (a) N2 -0; (b) N2 -1; (c) N2 -2; (d) N2 -3 0 1.0 0.5 0.5 0 1.0 1.5 1.5 25 (a) N (b) 2 -15 N2 -30 (c) N2 -45 z/nm y/nm x/μm 0 1.0 0.5 0.5 0 1.0 1.5 1.5 80 z/nm y/nm x/μm 0 1.0 0.5 0.5 0 1.0 1.5 1.5 60 z/nm y/nm x/μm 图 4    不同氮气流量下 (FeCrVTa0.4W0.4)Nx 单层薄膜的 AFM 表面形貌. （a）N2 -15；（b）N2 -30；（c）N2 -45 Fig.4    AFM surface morphology of (FeCrVTa0.4W0.4)Nx single-layer films at different N2 flows: (a) N2 -15; (b) N2 -30; (c) N2 -45 Intensity (a.u.) (a) FCC (111) FCC (200) 10 20 30 40 50 2θ/(°) 60 70 80 90 FCC (220) N2 -0 N2 -1 N2 -2 N2 -3 FCC (311) Intensity (a.u.) (b) FCC (111) FCC (200) 10 20 30 40 50 2θ/(°) 60 70 80 90 FCC (220) N2 -15 N2 -45 N2 -30 FCC (311) 图 5    FeCrVTa0.4W0.4 氮化物薄膜的 XRD 衍射图. （a）FeCrVTa0.4W0.4 氮化物成分梯度多层薄膜；（b） (FeCrVTa0.4W0.4)Nx 单层薄膜 Fig.5    XRD diffraction patterns of FeCrVTa0.4W0.4 nitride films: (a)FeCrVTa0.4W0.4 nitride composition gradient multilayer films; (b) (FeCrVTa0.4W0.4)Nx single-layer films · 688 · 工程科学学报，第 43 卷，第 5 期