PF= π -d In2 I 恒流源h 电流 四探针 薄膜 四探针法测量金属薄膜电阻率的原理图 三.实验装置： 1.四探针组件、 2.SB118精密直流电流源 3.PZ158A直流数字电压表 四.实验步骤： 1.预热：打开SB118电流源和PZ158A电压表的电源开关，使仪器预热30分钟 2.放置被测样品：首先拧动四探针支架上的铜螺柱，松开四探针与小平台的接触， 将样品放置于小平台上，然后再拧动铜螺柱，使四探针的所有针尖同样品薄膜有良 好的接触即可。 注意事项： a)在拧动四探针架上的铜螺柱时，用手扶住四探针架，不要让四探针在样品表面 滑动，以免探针的针尖滑伤薄膜。 b)在拧动四探针支架上的铜螺柱时，不要拧得过紧，以免四探针的针尖严重刺伤 样品薄膜，只要四探针的所有针尖同样品薄膜有良好的接触即可。 3.联机 将四探针的四个接线端子，分别正确地接入相应的位置，即 接线板上最 外面的端子，对应于四探针的最外面二根针，应接入SB118电流源的电流输出孔上， 5353 ln 2 V F d I      四探针法测量金属薄膜电阻率的原理图 d 恒流源 V 四探针 薄膜 电流 三．实验装置： 1. 四探针组件、 2. SB118 精密直流电流源 3. PZ158 A 直流数字电压表. 四．实验步骤： 1. 预热：打开 SB118 电流源和 PZ158A 电压表的电源开关，使仪器预热 30 分钟 2. 放置被测样品：首先拧动四探针支架上的铜螺柱，松开四探针与小平台的接触， 将样品放置于小平台上，然后再拧动铜螺柱，使四探针的所有针尖同样品薄膜有良 好的接触即可。 注意事项: a) 在拧动四探针架上的铜螺柱时，用手扶住四探针架，不要让四探针在样品表面 滑动，以免探针的针尖滑伤薄膜。 b) 在拧动四探针支架上的铜螺柱时，不要拧得过紧，以免四探针的针尖严重刺伤 样品薄膜，只要四探针的所有针尖同样品薄膜有良好的接触即可。 3. 联机 将四探针的四个接线端子，分别正确地接入相应的位置，即 接线板上最 外面的端子，对应于四探针的最外面二根针，应接入 SB118 电流源的电流输出孔上