TEM样品类型 常规制备方法： 化学减薄、电解双喷 1. 块状（平面）：用于普通微结构研究 机械减薄、粉碎研磨 2. 横截面样品：薄膜和界面的微结构研究 聚焦离子束、离子减薄 3.小块物体：粉末，纤维，纳米量级的材料 平面：表面观察，表面的均度，缺陷， 相分凝等。 生长面 截面：生长形态信 息，各层的原子结 构，界面结构，缺 陷等。 衬底TEM样品类型 1. 块状（平面）：用于普通微结构研究 2. 横截面样品：薄膜和界面的微结构研究 3. 小块物体：粉末，纤维，纳米量级的材料 常规制备方法： 化学减薄、电解双喷 机械减薄、粉碎研磨 聚焦离子束、离子减薄