1.4 1.0 0.6 604- 0.6 607 0.2 0.2 IBIquajod 0. -0.2 -0.61 -9 -8 -7-6 -5 -4 -3 -5.5 -4.5 -3.5 -2.5 -1,5f log(i/A.cm-2) log(i/A.cm-2) 图1碳含量与点蚀电位的关系(3.5%NaC1, 图2碳量对滹膜在盐酸中极化行为的影响 30°C充氮，扫描速度为20mV/min) (m1ol/1HC1,30C,扫描速度为60mV/min) Fig.1 Relation between pitting potenti- Fig.2 Potentiodynamic polarization of als of deposit and carbon concen- deposit tration 碳含量变化对薄膜耐蚀性影响的原因是由于薄膜结构的变化。4种薄膜的X-射线衍射 结果表明，碳量的增加促使薄膜晶粒细化。604的衍射峰很尖锐，它是微晶结构；其余3条， 即607、617、821的衍射峰只有一个，它是半高宽超过5°的漫散峰。这种漫散蜂是X-射线 非晶态的特征。 袭2爵粒尺寸与碳含量的关系 Table 2 Relation between crystallite size of depcsit and carbon concentration 数 604 607 617 821 半高宽，” 1.1 5 5.9 7 Liio,nm 7.7 1.7 1.4 1.2 C,wt% 2.2 5.3 6.2 7,3 根据谢乐方程[]，由衍射峰半高宽计算所得薄膜晶粒尺寸与碳含量的关系列于表2中。 从表可见，当碳含量达5.3wt%后，晶粒尺寸变化已表现不明显，并证明碳对薄膜晶粒细化 有明显促进作用。电子衍射结果进一步证明（图3），当碳含量超过6.2wt%后，617,821薄 图3不同碳含量荐膜电子衍射花样 (a)607, (b)617, (c)821 Fig.3 Pattern of TEM of the film at various C content 116六 丁 尸尸尸 象 扩 口 － 汤 了 … 。 口 一 ’ 刁比 二 勺 甲爹一 一 之… 一 川 广 卜 ‘ 一 ， 一 护 产 一 产 一川 廿 二弓二 二 二 子尸 人 丫 一众厂势 卢 〕 二 。 ， 护 产 卜几‘ 、 ‘ 一 七、 少二 飞、 〔 一 二之 一理之为 州目 尹 夔轰 一 廿‘ ‘ 一 代夕 吧 一 吧尸一沪 ’ ，‘ 一 户 广 二盛石升、一、 一、 砚之之之之 一 闷 ︶︵闰认 习巴︵利阁议。司卜 ‘ ﹃益尸。 ‘ 一 图 碳 含量与 点蚀 电位 的关 系 写 ， “ 充氮 ， 扫描速度为 一 ‘ 飞一 图 碳 量对薄膜 在盐 酸中极化 行为 的影响 ， ， 扫描速度为 碳含量变化对 薄膜耐 蚀性影响 的原 因是 由于 薄膜结构 的变化 。 种薄膜 的 一 射 线 衍 射 结 果 表明 ， 碳 量 的增加促使 薄膜 晶粒细化 。 的 衍射峰很尖锐 ， 它是微 晶结 构 其余 条 ， 即 、 、 的衍射 峰只有一个 ， 它是半 高宽超过 “ 的漫 散峰 。 这种漫散 峰是 一 射线 非 晶态 的特征 。 表 晶粒 尺 寸 与碳 含量 的关 系 参 数 半 高宽 ， ” 声 ， 。 ， 根据谢 乐方程 〔 ‘ 〕 ， 由衍射峰半高宽计算所得 薄膜 晶粒 尺寸与碳含量 的关 系列于 表 中 。 从 表可 见 ， 当碳含量达 后 ， 晶粒 尺 寸 变化 已 表现不 明显 ， 并证 明碳对 薄膜 晶粒细化 有明 显促进 作用 。 电子 衍射结 果进一步证 明 图 ， 当碳含量超 过 写后 ， ， 薄 图 不 同碳 含量薄膜 电子衍射花样 一