膜的衍射环已明显宽化，属完全的非晶结构。 对比薄膜耐蚀性与结构的关系以认为，耐蚀性的提高是由于碳量的增加促进了晶粒细 化。因为当碳含量达某一定值以后，已形成的非晶结构表现出突出的耐蚀性能。非晶薄膜消 除了晶界、夹杂、偏析、位错等缺陷，使薄膜表面钝化膜更加均一，有效地减少了晶态薄膜 的弱点。 2AES和XPS分析和耐蚀性的探讨 为了进一步探讨Fe-Cr-Ni-C非晶薄膜表面钝化膜的成分及结构状态，将851试样置 1mol/1盐酸中极化至0.4V(SCE)1h形成的钝化膜进行AES分析，结果列入图4中。由图 可见，盐酸中形成的膜比空气中的膜要厚，而且Cr/Fe比要高得多。膜中Cr/Fe比高是耐 蚀性提高的原因。 0.8 0.6 60.4 0.2L 0.0 0.51.01.52.0 Sputter time,min 图1851钝化筷AES分析 1一盐酸中， 2一空气中 Fig.4 AES profile results of the passive films(851 deposit) 图5是上述851试样在相同的试验条件下XPS分析表面膜价态的结果。图中曲线是计 算机拟合的结果。铬的XPS谱蜂明显是由二种价态组成，而且二价铬的含量高于零价铬。 Fe2p谱图表明也以各种价态形式存在。文献中报告金属铁的结合能是706.8eV与实验符合 较好。这说明铁主要以金属态形式存在。氧在膜表面有两种形式：M-O键和M-H键，在图 a ) Cr3* 2+V Fe /Cr 582.0578.4574.8571.2713.1710.4707.7705.0 (e) (d) M-OH 536.0533.0530.0 286.9284.8282,7 Binding energy,ev 图5821钝化膜表面的XPS分析 (a)Cr2p:(b)Fe2P:(c)O (d)C1 Fig.5 XPS peaks of surface of passive film on 821 deposit 117伙 膜的衍射环 已明显 宽化 ， 属完全的 非 晶结 构 。 对 比薄膜耐蚀性与结 构 的关 系 可以 认为 ， 耐 蚀性的提 高是 由于 碳量 的增加促进了 晶粒 细 化 。 因为当碳含量达某一定值以后 ， 已 形成 的非 晶结构表现 出突 出的耐蚀性能 。 非晶薄膜消 除了 晶界 、 夹 杂 、 偏析 、 位错 等缺陷 ， 使薄膜表 面钝化膜更加 均一 ， 有效 地 减少了 晶态薄膜 的弱点 。 和 分析和耐蚀性的探讨 为了进一步探讨 一 一 一 非晶薄膜 表面钝化膜的 成 分及结 构 状 态 ， 将 试 样 置 厂盐 酸 中极化 至 。 形 成的钝化膜进行 分析 ， 结果列入 图 中 。 由 图 可见 ， 盐酸 中形成的膜 比空气 中的膜要 厚 ， 而且 比要 高得多 。 膜 中 比高 是 耐 蚀性提高的原 因 。 、 一 、 。 困 ’ 一 一月 丫书 口 石 、 八 灿﹄。 ， 图 钝化 膜 分 析 一盐 酸 中， 一空气 中 图 是上述 试样 在相 同的试验条件下 分析表 面膜价态的结果 。 图 中曲 线 是 计 算机拟 合的结果 。 铬 的 谱峰明显 是 由二种价态组 成 ， 而且二价铬 的含量高于零 价 铬 。 谱 图表 明也以 各种价态形式存在 。 文 献 中报告金 属铁 的结 合能是 与 实验 符 合 较好 。 这说明铁 主要以金 属 态 形式 存在 。 氧 在膜 表面有两种 形式 一 键和 一 键 ， 在 图 。 ， 图 钝化膜表面 的 分析 多 ， 。 、 一 了