VoL23 No.3 凌云汉等：聚变堆面向等离子体SiC/Cu梯度材料的制备与评价 +259- 海透流动和陶瓷层的进一步烧结.由于时间短 度的变化关系.图7是SiC/Cu FGM的化学溅射 促，梯度材料的成分分布在宏观上应大致保持 产额与温度的关系图，从图中可见，SiC/Cu FGM 不变. 的化学溅射产额与SMF-800纯化石墨相比降 2,2显微结构分析 低了80%，其峰值温度也向低温方向移动了30 图5是p=1.0的SiC-15%B.C/Cu(质量分数) K,说明SiC陶瓷键合强度大于石墨，其被D束 6层梯度材料的SEM背散射图像，可见SiC及 腐蚀生成氘甲烷的活化能要比石墨高.SiC/Cu C成分梯度变化，说明在烧结过程中样品内无 FGM的热解吸如图8所示，其CD,放气率减小 明显的液相流动.图6是陶瓷烧结层(SiC-15% 到SMF-800(图9)的10%左右.热解吸结果表 (质量分数)B,C)的形貌，可见SiC已相互烧结 明，与核纯级石墨SMF-8O0比较，SiC/Cu FGM 在一起，晶粒细小，组织均匀，B,C或气孔均匀 分布其中. 100 SMR-800 10 Sic/Cu 450550650750850950 T/K 图7SiC/Cu FGM的化学漏射产额 Fig.7 CD.yield of SiC/Cn FGM 10- 1500 图5SiC/Cu六层梯度材料BSD) D 1200 Fig.5 SEM of overall 6-layered SiC/Cu FGM 10 温度 900 10 CD. 600首 10° SiD. 300 10-0 0 0 60120180240300 s 图8SIC/Cu FGM的热解吸谱 Fig.8 Spectra of CD,thermal desorption of SiC/Cu FGM 10 1500 图6纯陶瓷层BSD) Fig.6 SEM of monolithic ceramic layer 1200 10 温度 2,3化学溅射和热解吸性能 900 化学溅射实验是在LAS-2000系统上用氢 CD, 10 离子束(3keV,4.6×10gcm2)辐照样品，同时 600首 用四极质谱计采用载波技术原位检测由D束 10 辐照样品感生的SD,CD,随温度的变化.热解 300 吸是将样品经过机械抛光、超声清洗、真空除气 10-0 0 (1273K,2h,10Pa)、注入H离子(Te, 060120180240300 E=2.5keV,I=10A,用束流积分器记录注入剂 的 量，累计剂量为10”10”离子)，在连续升温过 图9石显的热解吸谱 Fig.9 Spectra of CD,thermal desorption of SMF-800 程中，用四极场质谱仪测试其气体释放量随温 graphite