传感器的微型化 人类社会的全面信息化，使得信息系统正朝 着微型化、多功能化和智能化的方向迅速发展。 随着微电子技术的进步，微处理器、存储器 等电子器件日益微型化，而传感器、执行器的 微型化程度却远远落后，成了信息系统微型化 的“瓶颈” 将传感器、微处理器、执行器合为一体，构 成微电子机械系统，是人们很久的愿望。 于是，“MEMS技术”应运而生。传感器的微型化 人类社会的全面信息化，使得信息系统正朝 着微型化、多功能化和智能化的方向迅速发展。 随着微电子技术的进步，微处理器、存储器 等电子器件日益微型化，而传感器、执行器的 微型化程度却远远落后，成了信息系统微型化 的“瓶颈” 。 将传感器、微处理器、执行器合为一体，构 成微电子机械系统，是人们很久的愿望。 于是， “MEMS 技术”应运而生