Micro Electro Mechanical System MEMS是“微机械电子系统”的英文缩写。 微机电系统且立更一 将微型 传感器、微 机械部分能够 的处理 电路集成 微型化吗？ 集成电路内部结构Micro Electro Mechanical System 集成电路内部结构 MEMS是“微机械电子系统”的英文缩写。 微机电系统是采用微机械加工技术，将微型 传感器、微型执行器、微型机构和相应的处理 电路集成在一起的微型器件或微型系统 机械部分能够 。 微型化吗？