生物医学工程导论 第十七章MEMS技术在 生物医学工程中的应用
第十七章 MEMS技术在 生物医学工程中的应用 生物医学工程导论
MEMS简介
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传感器的微型化 人类社会的全面信息化，使得信息系统正朝 着微型化、多功能化和智能化的方向迅速发展。 随着微电子技术的进步，微处理器、存储器 等电子器件日益微型化，而传感器、执行器的 微型化程度却远远落后，成了信息系统微型化 的“瓶颈” 将传感器、微处理器、执行器合为一体，构 成微电子机械系统，是人们很久的愿望。 于是，“MEMS技术”应运而生
传感器的微型化 人类社会的全面信息化，使得信息系统正朝 着微型化、多功能化和智能化的方向迅速发展。 随着微电子技术的进步，微处理器、存储器 等电子器件日益微型化，而传感器、执行器的 微型化程度却远远落后，成了信息系统微型化 的“瓶颈” 。 将传感器、微处理器、执行器合为一体，构 成微电子机械系统，是人们很久的愿望。 于是， “MEMS 技术”应运而生
Micro Electro Mechanical System MEMS是“微机械电子系统”的英文缩写。 微机电系统且立更一 将微型 传感器、微 机械部分能够 的处理 电路集成 微型化吗？ 集成电路内部结构
Micro Electro Mechanical System 集成电路内部结构 MEMS是“微机械电子系统”的英文缩写。 微机电系统是采用微机械加工技术，将微型 传感器、微型执行器、微型机构和相应的处理 电路集成在一起的微型器件或微型系统 机械部分能够 。 微型化吗？
