点击下载：川北医学院：《生物医学工程导论》课程教学资源（课件讲稿）12 微机械电子系统技术在生物医学工程中的应用（Micro Electro Mechanical System，MEMS）
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MEMS“微米级” 加工技术 A 10m 884815KU X358100y■N019 2um 100μm 3um 20m 100 um kv xe.a'1s.8cmMEMS “微米级”加工技术 100μm
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