微细加工 微细加工的特点 1微细加工和超微细加工是一个多学科的制造系统 工程 2微细加工和超微细加工是一门多学科的综合高新 技术 3.平面工艺是微细加工的工艺基础 4微细加工和超微细加工与自动化技术联系紧密 5微细加工技术和精密加工技术的互补 6微细加工检测一体化微细加工 微细加工的特点 1.微细加工和超微细加工是一个多学科的制造系统 工程 2.微细加工和超微细加工是一门多学科的综合高新 技术 3.平面工艺是微细加工的工艺基础 4.微细加工和超微细加工与自动化技术联系紧密 5.微细加工技术和精密加工技术的互补 6.微细加工检测一体化