微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 般尺寸加工时,精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时,精度是用尺寸的绝对值来表示的 2微观机理 般加工允许的吃刀量比较大,切屑比较大;微细加工 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量,切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时,切削就得在晶粒內进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征,微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象,以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础,采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 一般尺寸加工时，精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时，精度是用尺寸的绝对值来表示的。 2.微观机理 一般加工允许的吃刀量比较大，切屑比较大；微细加工， 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量，切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时，切削就得在晶粒内进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征，微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理