微细加工 微细加工概述 1微细加工出现的历史背景 2微细加工的概念及特点 3微细加工机理 4微细加工方法 BACK
微细加工 微细加工概述 1.微细加工出现的历史背景 2.微细加工的概念及特点 3.微细加工机理 4.微细加工方法
微细加工 微细加工出现的历史背景 1精密机械仪器仪表零件的微细加工 2电子设备微型化和集成化的需求 3大规模集成电路的制作技术
微细加工 1.精密机械仪器仪表零件的微细加工 2.电子设备微型化和集成化的需求 3.大规模集成电路的制作技术 微细加工出现的历史背景
微细加工 六英寸的飞机
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微细加工 44克的小飞机 OE
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微细加工 六英寸直升机(HR-1)1
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微细加工 微型涡喷发动机1
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微细加工 微型涡喷发动机2
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微细加工 大小:5×5×10mm
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微细加工 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广 义的角度来说,微细加工包括:切削加工、磨料加工、电 火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微浪加工 等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束 加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说,微细 加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的, 是大规模集成电路和计算机技术的基础,是信息时代、微 电子时代、光电子时代的关键制造技术之 在微细加工时,由于加工尺寸很小,精度是用去除材料 大小的绝对值来表示,引入了加工单位尺寸的概念。加工 单位尺寸简称加工单位,它表示去除材料的大小,例如: 原子加工单位表示能去除一个原子
微细加工 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广 义的角度来说，微细加工包括：切削加工、磨料加工、电 火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微波加工、 等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束 加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说，微细 加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的， 是大规模集成电路和计算机技术的基础，是信息时代、微 电子时代、光电子时代的关键制造技术之一。 在微细加工时，由于加工尺寸很小，精度是用去除材料 大小的绝对值来表示，引入了加工单位尺寸的概念。加工 单位尺寸简称加工单位，它表示去除材料的大小，例如： 原子加工单位表示能去除一个原子
微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 般尺寸加工时,精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时,精度是用尺寸的绝对值来表示的 2微观机理 般加工允许的吃刀量比较大,切屑比较大;微细加工 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量,切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时,切削就得在晶粒內进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征,微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象,以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础,采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理
微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 一般尺寸加工时，精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时，精度是用尺寸的绝对值来表示的。 2.微观机理 一般加工允许的吃刀量比较大，切屑比较大；微细加工， 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量，切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时，切削就得在晶粒内进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征，微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理