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2、在学习该课程的过程中,教师应该抓住封装工艺流程在工厂的实际应用来引导 学生对封装技术发展的思考,同时接合数学分析来完成对测试技术与缺陷分析的模型说 明: 3、通过该课程的学习,达到学生掌握半导体器件的封装工艺的基本流程,能够分 析基本的封装缺陷产生原因与改进措施。 四、课程教学模块(或教学内容)与学时分配 序号 教学模块 知识点 学时 概论 了解:集成电路封装的概念。 理解:集成电路封装的发展趋势及当前热点 掌握:集成电路封装的目的、作用、层次与分 类 了解:集成电路封装的流程术语 理解:集成电路封装的流程分段 学握:集成电路封装的前端工艺和后端工艺 材料技术 了解:集成电路封装的硅片工艺 理解:集成电路封装的硅片工艺步骤 掌握:集成电路封装的硅片切割,芯片贴装互 联、键合工艺的作用 了解:集成电路封装的厚膜技术方法 理解:集成电路封装的厚膜技术的工艺步骤 掌握:集成电路封装厚膜技术的共性,丝网印 刷与烧结 了解:集成电路封装的薄膜技术方法 理解:集成电路封装的薄膜技术的工艺步骤 掌握:集成电路封装薄膜技术与厚膜技术的差 异,镀膜,光刻 了解:集成电路封装的焊接材料分类2 2、在学习该课程的过程中,教师应该抓住封装工艺流程在工厂的实际应用来引导 学生对封装技术发展的思考,同时接合数学分析来完成对测试技术与缺陷分析的模型说 明; 3、通过该课程的学习,达到学生掌握半导体器件的封装工艺的基本流程,能够分 析基本的封装缺陷产生原因与改进措施。 四、课程教学模块(或教学内容)与学时分配 序号 教学模块 知识点 学时 1 概论 了解:集成电路封装的概念。 理解:集成电路封装的发展趋势及当前热点 掌握:集成电路封装的目的、作用、层次与分 类 3 了解:集成电路封装的流程术语 理解:集成电路封装的流程分段 掌握:集成电路封装的前端工艺和后端工艺 2 2 材料技术 了解:集成电路封装的硅片工艺 理解:集成电路封装的硅片工艺步骤 掌握:集成电路封装的硅片切割,芯片贴装互 联、键合工艺的作用 2 了解:集成电路封装的厚膜技术方法 理解:集成电路封装的厚膜技术的工艺步骤 掌握:集成电路封装厚膜技术的共性,丝网印 刷与烧结 2 了解:集成电路封装的薄膜技术方法 理解:集成电路封装的薄膜技术的工艺步骤 掌握:集成电路封装薄膜技术与厚膜技术的差 异,镀膜,光刻 2 了解:集成电路封装的焊接材料分类 2
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