功率密度p 功率密度为每单位体积v供应的功率p能量在 MEMS的设计中是一个很重要的参数,能量不足导致 系统无法运动,能量过大可使系统结构损坏,过大功 率会增加运行成本,同时也会缩短器件的工作寿命 刚体作功,W=Fs,功率P=W/T 功率密度= 则功率密度的尺度向量; 电种域女学功率密度为每单位体积V0供应的功率p。能量在 MEMS的设计中是一个很重要的参数，能量不足导致 系统无法运动，能量过大可使系统结构损坏，过大功 率会增加运行成本，同时也会缩短器件的工作寿命。 刚体作功，W=FS ，功率P=W/T 功率密度 则功率密度的尺度向量； 0 p/v 0 0 p FS V TV = 功率密度