S片背刻蚀后得到的薄膜器件 S的各向异性刻蚀被用来制造各种薄膜器件。其中,可利用 SO2、p型搀杂Si的选择性刻蚀特性Si片背刻蚀后得到的薄膜器件 Si的各向异性刻蚀被用来制造各种薄膜器件。其中，可利用 SiO2、p型搀杂Si的选择性刻蚀特性