点击下载：北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）
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<100>S片在化学侵蚀后的表面及断面图 SiOh, mask 3i0, Fank Si的各向异性刻蚀可被用来制造各种规则的形状,如倒金字 塔形、坑道形等<100>Si片在化学侵蚀后的表面及断面图 ◆ Si的各向异性刻蚀可被用来制造各种规则的形状，如倒金字 塔形、坑道形等
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点击下载：北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲 微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）
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