2.将设备旋转盘保护上盖旋开，选择好需要加工晶元配套的吸 盘，将吸盘放在匀胶电机轴套上，注意吸盘的方向，务必放稳，放平。 3.将硅片放到吸盘上，并点胶。 4.打开控制面板上的“真空”按钮，吸盘上形成真空。 5.将旋转盘保护上盖旋到旋转盘上方，盖好，操作人员手扶旋 转保护盘。 6。选择好匀胶时间和匀胶频率后，按下“匀胶启动”的绿按钮。 7.待匀胶完全停止后，关闭真空电源取出硅片。 注意 1.真空气泵需要定期加油，注意油面情况，具体参照说明书。 2.定期清理旋转盘里面残留的胶。 3.“真空”没有按下时，匀胶工作不能进行。 频率和电机转速对照表 变顿输出频半) 电机转数p 3360 616 7840 15 步骤3：后烘干，80摄氏度20分钟 步骤4：硅片对焦后在紫外线下曝光：2. 将设备旋转盘保护上盖旋开，选择好需要加工晶元配套的吸 盘，将吸盘放在匀胶电机轴套上，注意吸盘的方向，务必放稳，放平。 3. 将硅片放到吸盘上，并点胶。 4. 打开控制面板上的“真空”按钮，吸盘上形成真空。 5. 将旋转盘保护上盖旋到旋转盘上方，盖好，操作人员手扶旋 转保护盘。 6. 选择好匀胶时间和匀胶频率后，按下“匀胶启动”的绿按钮。 7. 待匀胶完全停止后，关闭真空电源取出硅片。 注意 1. 真空气泵需要定期加油，注意油面情况，具体参照说明书。 2. 定期清理旋转盘里面残留的胶。 3. “真空”没有按下时，匀胶工作不能进行。 步骤 3：后烘干，80 摄氏度 20 分钟 步骤 4：硅片对焦后在紫外线下曝光；